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新材料 電子特氣系統(tǒng)
工信部網(wǎng)站于2018年9月29日發(fā)布了關(guān)于《重點新材料首批次應(yīng)用示范指導(dǎo)目錄(2018版)》的公告。相較于2017版高純氯氣、三氯氫硅和鍺烷三種電子特氣,本次指導(dǎo)目錄(2018版)達15種之多,也是本次發(fā)布數(shù)量最多的一個品類。
電子特氣的重要性
有人把電子特氣比喻成電子工業(yè)的糧食,也有人把它比喻成集成電路的腦細胞,這都說明了電子特氣對于電子工業(yè)的重要性。
新材料電子特氣系統(tǒng)是什么
電子特氣系統(tǒng)工程分氣源部分(特氣柜GC)、配管部分(一般用雙套管)、二次配部分(氣體分配柜VMB)、自動切換(自動切換氣瓶)、監(jiān)督控制部分(氣體管理系統(tǒng)GMS)幾部分
新材料電子特氣系統(tǒng)特點
單臺電子特氣系統(tǒng)設(shè)備均配有PLC控制、彩色觸摸屏操作,帶有溫度、壓力、煙霧、泄漏監(jiān)控報警,并可擴展地震監(jiān)控報警;多臺設(shè)備用PLC或TGO連起來,監(jiān)控報警系統(tǒng)可以與安監(jiān)系統(tǒng)、消防系統(tǒng)對接。
深圳蓋斯帕克長期致力于電子特氣系統(tǒng)工程的服務(wù),公司自有經(jīng)驗豐富的、專業(yè)的安裝工程服務(wù)團隊與專業(yè)的設(shè)計團隊,成功開發(fā)設(shè)計有自主專利的特氣柜GC、氣體分配柜VMB、氣體管理系統(tǒng)GMS,已成功安裝于諸多高等院??蒲惺遗c半導(dǎo)體企業(yè),且目前運行良好。